From "lab-on-a-chip" bis zur Mikroooptik

Bei der Herstellung miniaturisierter elektromechanischer und optischer Bauteile hängt der Produktionsausschuss von der Maßhaltigkeit der komplexen Oberflächengeometrien ab. Da die Produkte der Mikrosystemtechnik meist dreidimensional gestaltet werden, ist eine zweidimensionale optische Überprüfung mit einem Vision-System nicht ausreichend. Die hohen Aspekt-Verhältnisse sind sowohl mit gängigen optischen Verfahren als auch mit Tastschnittgeräten schwer zu erfassen.
Daher werden hier die Messsysteme von NanoFocus eingesetzt. Mit µsurf und µscan lassen sich die Geometrie von Mikrobauteilen dreidimensional, berührungslos und zerstörungsfrei in verschiedenen Stationen des Fertigungsprozesses vermessen und automatisiert auswerten.