Martin Kunz
NanoFocus AG
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hoher Messgeschwindigkeit - schnelle und einfache Erstellung von Messrezepten
- vollautomatisches Handling, Messung
und Auswertung - einsetzbar auf verschiedensten Substrattypen
- reinraumtauglich
- Messungen von ball diameter
bis zu 50 μm - Messungen von vall pitch bis zu 100 μm
Bump-Inspektion (PDF)
