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| Dr. Hans Hermann SchreierAufsichtsratsvorsitzender |
| Ralf Terheydenstellvertretender AufsichtsratsvorsitzenderSeit dem Jahr 2006 ist er im Aufsichtsrat der NanoFocus AG und stand diesem zwischen 2007 und 2012 vor. |
| Felix KrekelAufsichtsratsmitglied |
| Prof. Dr.-Ing. Stefan Altmeyerstellvertretendes Aufsichtsratsmitglied |